A METHOD FOR EXTENDING THE GAS LIFETIME OF EXCIMER LASERS

Procédé destiné à prolonger la durée de vie des gaz d'un laser à excimère en éliminant l'impureté CF4, qui consiste a) à faire réagir CF4, une impureté qui se forme et est contenue dans les gaz actifs, avec une certaine quantité d'un adjuvant gazeux oxydant efficace pour produire un o...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JURSICH, GREGORY, M, VON DRASEK, WILLIAM, A
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS DEVICES USING STIMULATED EMISSION ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Procédé destiné à prolonger la durée de vie des gaz d'un laser à excimère en éliminant l'impureté CF4, qui consiste a) à faire réagir CF4, une impureté qui se forme et est contenue dans les gaz actifs, avec une certaine quantité d'un adjuvant gazeux oxydant efficace pour produire un ou plusieurs composés condensables à l'aide de dispositifs de réfrigération, sans réduire le rendement du laser au-dessous d'un niveau acceptable prédéterminé et b) à condenser ledit ou lesdits composés obtenus dans la phase a) à l'aide de dispositifs de réfrigération, pratiquement sans condenser avec eux ledit ou lesdits gaz rares, éliminant ainsi ladite impureté CF4 dudit laser et prolongeant la durée de vie des gaz du laser.