Line evaporator for vacuum coating plants

Bei einem Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen, mit mehreren, in der Prozeßkammer (11) angeordneten, einzeln in der Leistung steuerbaren, durch Stromdurchgang beheizten, an backenförmig ausgebildeten elektrischen Zuleitungen (3, 3', ...; 4, 4', ...) befestigten Verdampferschiffchen (5, 5', ...), sind die backenförmigen Zuleitungen von einem sich über die gesamte Länge des Reihenverdampfers erstreckenden, elektrisch leitfähigen Tragkörper (6) gehalten, wobei die Zuleitungen (3, 3', ...) der einen Polarität elektrisch leitend mit dem Tragkörper (6) verbunden sind, während die Zuleitungen (4, 4', ...) der anderen Polarität jeweils von einem Verdrängerkörper (9, 9', ...) beaufschlagt sind, der als kreiszylindrischer Bolzen ausgebildet und durch die Wand (10) der Prozeßkammer (11) vakuumdicht, jedoch längsverschiebbar nach außen zu hindurchgeführt ist, so daß die Querschnittsfläche dieses Verdrängerkörpers (9, 9', ...) während des Betriebes der Anlage von Atmosphärendruck beaufschlagt bleibt und dann mit ausreichend bemessener Kraft die Zuleitungen bzw. Backen (4, 4', ...) gegen das jeweilige Verdampferschiffchen (5, 5', ...) preßt. In a line evaporator for vacuum coating systems, having … a plurality of evaporator boats (5, 5', ...), which are arranged in the process chamber (11) and whose output can be controlled individually, and which are heated by the passage of current and are attached to jaw-shaped electrical leads (3, 3', ...; 4, 4', ...), the jaw-shaped leads are held by an electrically conductive supporting body (6) which extends over the entire length of the line evaporator, the leads (3, 3', ...) of the one polarity being connected in an electrically conductive manner to the support body (6), while the leads (4, 4', ...) of the other polarity are each actuated by a displacement body (9, 9', ...) which is designed as a circular-cylindrical bolt and which passes through the wall (10) of the process chamber (11) to the exterior in a vacuum-tight manner, but so as to be movable along its length, so that the cross-sectional area of said displacement body (9, 9', ...) during operation of the system remains subject to atmospheric pressure and then presses the leads or jaws (4, 4', ...) against the evaporator boat (5, 5', ...) in question with a sufficient force. ……