MICROVALVE

On propose une microvanne comportant une structure à plusieurs couches dans laquelle une arrivée (22), un retour et une sortie (23, 24) sont fabriqués par une structuration de couches de matériau sur une faible épaisseur. La microvanne présente un premier étage (1) et un deuxième étage (2) disposé à l'arrière du premier étage (1) dans le sens d'écoulement du fluide. Dans le premier étage (1), le sens d'écoulement du fluide est commandé dans un espace creux constitué de deux chambres (33, 34) au moyen d'une languette souple (10) qui dans sa position de repos est orientée parallèlement au sens d'écoulement du fluide. Le deuxième étage (2) comporte au moins une sortie (23, 24). A structured central wafer (30) e.g. of Si is sandwiched between upper and lower coatings (31, 32) which are shaped to enclose two parts (33, 34) of a chamber (35). Centred in the inlet port (22) is a flexible tongue (10) with a piezoelectric or thermally sensitive film (101) on its end facing the wedge-shaped tip (11) of the wafer (30). - The fluid is guided into either chamber (33 or 34) by deflection of the tongue (10). In the second stage (2) the wedge (11) prevents formation of vortices.