DC REACTIVELY SPUTTERED OPTICAL COATINGS INCLUDING NIOBIUM OXIDE

On décrit un revêtement optique multicouche (10) comprenant au moins une couche d'oxyde de niobium (16 et 20) déposée par pulvérisation cathodique réactive à courant continu. A multilayer optical coating including at least one layer of niobium oxide deposited by DC reactive sputtering.

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Hauptverfasser: DICKEY, ERIC, R, STEFFENHAGEN, DEBRA, M
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:On décrit un revêtement optique multicouche (10) comprenant au moins une couche d'oxyde de niobium (16 et 20) déposée par pulvérisation cathodique réactive à courant continu. A multilayer optical coating including at least one layer of niobium oxide deposited by DC reactive sputtering.