DC REACTIVELY SPUTTERED OPTICAL COATINGS INCLUDING NIOBIUM OXIDE
On décrit un revêtement optique multicouche (10) comprenant au moins une couche d'oxyde de niobium (16 et 20) déposée par pulvérisation cathodique réactive à courant continu. A multilayer optical coating including at least one layer of niobium oxide deposited by DC reactive sputtering.
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | On décrit un revêtement optique multicouche (10) comprenant au moins une couche d'oxyde de niobium (16 et 20) déposée par pulvérisation cathodique réactive à courant continu.
A multilayer optical coating including at least one layer of niobium oxide deposited by DC reactive sputtering. |
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