Interferometric sensor to measure distance-variations of a small surface

Zur genauen Messung kleiner Abstandsänderungen einer kleinen Meßfläche ist in einer Mirau-ähnlichen Interferometeranordnung zwischen Referenzfläche (17r) und Meßfläche (15) ein Verzögerungselement (16v) angeordnet, welches eine Differenz der Gangunterschiede zwischen Meßstrahl (11m) und Vergleichsstrahl (11v) von ungefähr Lambda-Viertel für zwei polarisationsrichtungen bewirkt. Die Leistungen der Strahlungen in diesen Polarisationsrichtungen werden von einer Detektionseinrichtung (18) gemessen, die aus einem polarisationsabhängigen Strahlteiler (18s) und zwei Detektoren (18d, 18e) besteht. For the purpose of accurate measurement of small distance variations of a small measuring surface, there is arranged between the reference surface (17r) and measuring surface (15) in a Mirau-like interferometer arrangement a delay element (16v) which produces a difference in the path difference between a measuring beam (11m) and comparison beam (11v) of approximately a quarter-wave for two polarisation directions. The powers of the beams in these polarisation directions are measured by a detection device (18) which consists of a polarisation-dependent beam splitter (18s) and two detectors (18d, 18e).