PROCESS FOR DETECTING THE ATTAINMENT OF A PREDETERMINED DEPTH IN TARGET BODY EROSION AND TARGET BODY THEREFOR

Afin de détecter le moment où l'érosion d'un corps-cible (1) soumis à une pulvérisation cathodique a atteint une profondeur déterminée (D), un point de discontinuité est formé sur le corps-cible par un matériau primaire à pulvériser (M1) et par un matériau témoin (M2). Un transducteur de m...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DUMONT,CHRISTIAN, QUADERER,HANS, WEGMANN, URS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Afin de détecter le moment où l'érosion d'un corps-cible (1) soumis à une pulvérisation cathodique a atteint une profondeur déterminée (D), un point de discontinuité est formé sur le corps-cible par un matériau primaire à pulvériser (M1) et par un matériau témoin (M2). Un transducteur de mesure (11) génère des signaux de mesure en mesurant une grandeur (s) qui se propage à travers l'atmosphère de traitement (P) ou des dispositifs d'alimentation en énergie électrique.