Method to pose electro optical components on integrated optical wave guides

Ein Verfahren zur Anbringung von elektrooptischen Bauteilen (20) an integriertoptischen Wellenleitern (12), die in einem Substrat (10) vorgesehen sind, enthält die Verfahrensschritte: (a) Aufbringen eines Ätzmittels auf das Substrat (10) so, daß in die Oberfläche des Substrats eine Grube (18) eingeä...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LANGNER, KLAUS ALEXANDER, FRONING, EDILBERT ALEXANDER
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Ein Verfahren zur Anbringung von elektrooptischen Bauteilen (20) an integriertoptischen Wellenleitern (12), die in einem Substrat (10) vorgesehen sind, enthält die Verfahrensschritte: (a) Aufbringen eines Ätzmittels auf das Substrat (10) so, daß in die Oberfläche des Substrats eine Grube (18) eingeätzt wird, welche einen Wellenleiter (12) anschneidet, (b) Positionieren und Haltern eines zu montierenden elektrooptischen Bauteils (20) in der Grube (18) in der gewünschten Position zu dem Wellenleiter (12) und (c) Vergießen des Bauteils (20) in der Grube (18) mit einem sich verfestigenden Material von einem an den Brechungsindex des Wellenleiters angepaßten Brechungsindex. Bei anderen Ausführungen wird die Grube durch Bohren oder Fräsen hergestellt. A method for mounting electrooptical components (20) on integrated optical waveguides (12) which are provided in a substrate (10) contains the following method steps: (a) applying an etchant to the substrate (10) so that a trench (18) which cuts into a waveguide (12) is etched into the surface of the substrate, (b) positioning and retaining in the trench (18), in the desired position with respect to the waveguide (12), an electrooptical component (20) to be mounted, and (c) casting the component (20) in the trench (18), with a solidifying material having a refractive index adapted to the refractive index of the waveguide. In other embodiments, the trench can be produced by boring or milling.