Process for producing an embedded oxide

Ein Verfahren zur Erzeugung eines versenkten Oxids soll die Herstellung großer Anschluß-Pads bei kleiner Kapazität dieser Anschluß-Pads bei gleichzeitig dickem Oxid auf der Halbleiteroberfläche bei gleichzeitig guter Abbildung von Feinstrukturen auf der Oberfläche eines Transistors insbesondere auch...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	REICHERT, HANSJORG, WEIDLICH, HERBERT. DR, SCHARF, LUDWIG, GOEDECKE, HEIDEMARIE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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