Method for determining the concentrations of gases in a gaseous mixture, and probe for measuring the thermal conductivity

Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Bestimmung der Gaskonzentrationen in einem Gasgemisch durch Messung der Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches. Die Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches mit N Gaskomponenten wird bei N-1 Gastemperaturen gemessen. Aus den ermittelten Wärmeleitfähigkeits-Meßwerte...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MARX, WOLF-RUDIGER, HORN, BERTOLD, GOLDNER, HEINZ-DIETER, LIEDTKE, THOMAS, SCHAEFER, WERNER
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Bestimmung der Gaskonzentrationen in einem Gasgemisch durch Messung der Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches. Die Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches mit N Gaskomponenten wird bei N-1 Gastemperaturen gemessen. Aus den ermittelten Wärmeleitfähigkeits-Meßwerten werden die einzelnen Gaskonzentrationen berechnet. Ein geeigneter Sensor zur Messung der Wärmeleitfähigkeit bei verschiedenen Gastemperaturen besteht aus einer Si-Trägerplatte (1) mit aufgeätzten Dünnfilmwiderständen (5), auf der eine Deckplatte (2) ruht. Beide Platten weisen in Höhe der Dünnfilmwiderstände eingeätzte Gruben (7a, 7b) auf, die die Meßkammer bilden. Über einen Diffusionskanal (8) und Öffnungen (11a, 11b) hat das zu bestimmende Gasgemisch Zutritt zur Meßkammer.