FILMS COMPRISING IN THEIR THICKNESS THREE SUPERIMPOSED AREAS OF WHICH AT LEAST ONE IS AN INSULATING AREA AND AT LEAST ONE A CONDUCTING AREA, AND FABRICATION OF SUCH FILMS BY IRRADIATION OF A POLYMER FILM BY MEANS OF A BEAM OF ENERGETIC IONS

Fabrication de films comportant dans leur épaisseur au moins deux zones superposées dont une zone à caractère semi-métallique et une zone à caractère isolant électrique, par irradiation d'un film de polymère au moyen d'un faisceau d'ions énergétiques. On peut former par ce procédé des...

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Hauptverfasser: LE MOEL, ALAIN, BOIZIAU, CLAUDE, DARNEZ, CHARLES, BALANZAT, EMMANUEL, DURAUD, JEAN-PAUL
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Fabrication de films comportant dans leur épaisseur au moins deux zones superposées dont une zone à caractère semi-métallique et une zone à caractère isolant électrique, par irradiation d'un film de polymère au moyen d'un faisceau d'ions énergétiques. On peut former par ce procédé des structures semi-métal (1)/isolant (2)/semi-métal (3) en irradiant le polymère sous vide au moyen d'ions légers ou de faible pouvoir d'arrêt, ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a. On peut aussi obtenir des structures isolant (4)/semi-métal (5)/isolant (6) en irradiant, en atmosphère confinée, le polymère au moyen d'ions lourds ou de grande perte d'énergie, ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a. En irradiant seulement certaines zones du film on peut ainsi former des connexions électriques enterrées ou en surface.