Position-measuring device

Es wird eine Vorrichtung zur berührungslosen Positionsmessung vorgeschlagen, bei der die räumliche Position eines als Positionsindikator verwendeten Permanentmagneten (10, 80) bezüglich in einer Fläche (11, 86) angeordneten magnetoresistiven Sensoren detektierbar ist. Spezielle Anordnungen der Sensoren (16, 18, 20, 22, 60, 62, 64, 66, 120, 122, 124, 126, 130 bis 137) unter besonderer Berücksichtigung der bei den magnetoresistiven Elementen vorhandenen Richtungen der Vormagnetisierungsfelder (48, 50, 52, 54, 71 bis 73, 74, 145 bis 152) sind dreidimensionale Positionsmessungen bei beliebig großer Fläche (11, 86) mit hoher Auflösung möglich. Ein besonderer Vorteil ist die preisgünstige Realisierung der Detektionsvorrichtung (12, 82) als ein Bauteil in Dünnschichttechnologie. A device for contactless position measurement is proposed in which the spatial position of a permanent magnet (10, 80) used as a position indicator can be detected with respect to magnetoresistive sensors arranged in a surface (11, 86). Special arrangements of the sensors (16, 18, 20, 22, 60, 62, 64, 66, 120, 122, 124, 126, 130 to 137) taking particular account of the directions of the premagnetisation fields (48, 50, 52, 54, 71 to 73, 74, 145 to 152) present given the magnetoresistive elements enable three-dimensional position measurements at high resolution for an arbitrarily large area (11, 86). A particular advantage is the cost-effective realisation of the detection device (12, 82) as a component using thin-film technology.