Sample holder for a spectroscopic ellipsometer with a high lateral resolution

Ellipsomètre spectroscopique comportant un dispositif d'éclairement présentant un point focal d'éclairement (F'2) d'une surface d'un échantillon (E) selon un angle d'incidence donné, et un dispositif d'analyse de la lumière réfléchie par la surface de l'échantillon. Le porte-échantillon comporte trois platines de translation (20,30,40), selon trois directions respectivement (T2, T3, T1). Les translations selon les premières (T1) et deuxième (T2) directions permettent de réaliser des cartographies de l'échantillon (E), alors que la translation selon la troisième direction (T3) permet de placer un point de la surface de l'échantillon (E) en coïncidence avec le point focal (F'2). Deux platines tournantes (PT2, 12) autour d'axes respectivement 1 et 2 parallèles aux première (T1) et deuxième (T2) directions et se coupant audit point focal (F'2) permettent d'orienter l'échantillon (E) par rotation dans deux plans orthogonaux autour dudit point focal (F'2). Application à l'ellipsomètre résolue spatialement. A spectroscopic ellipsometer comprises an illumination device having a focal point (F'2) for illuminating a surface of a sample (E) in accordance with a given angle of incidence and a device for analyzing the light reflected from the surface of the sample. The sample support comprises three translation plates (20,30,40) in accordance with three respective directions (T2, T3, T1). The translations in accordance with the first (T1) and second (T2) directions make it possible to realise cartographic representations of the sample (E) and the translation in accordance with the third direction (T3) makes it possible to cause a point on the surface of the same (E) to coincide with the focal point (F'2). Two plates (PT2, 12) rotating about the axes O1 and O2, respectively, parallel to the first (T1) and second (T2) directions and intersecting each other at the focal point (F'2) provide the possibility of orienting the sample (E) by means of rotation in two orthogonal planes about the focal point (F' 2).