X-RAY SOURCE

Une source de rayons X possède une anode cible (66) laquelle présente une partie de sommet conique (68) ayant un angle (a1) comparativement petit et une partie de base conique (70) ayant un angle (a2) plus grand. Le faisceau d'électrons est dirigé en cours d'utilisation au niveau de la région de la surface interne de la partie de sommet. Le petit angle de la partie de sommet augmente la zone de collision des électrons, facilitant ainsi le refroidissement et permettant d'obtenir une intensité plus élevée, et réduit également la dimension de la source apparente, ce qui améliore la résolution. Les parties de sommet et de base peuvent être constituées avec des matériaux différents (par exemple du palladium et du nickel ou un alliage Ni/Cu respectivement) de sorte que les rayons X indésirés dus aux électrons égarés qui bombardent la partie de base ont une longueur d'onde telle qu'ils sont relativement inoffensifs. An improved X-ray source for a lithographic system comprises a double-angle conical target. The target is characterized by a small apparent source diameter and an efficient cooling system. Submicron resolution and high-power operation are thereby made feasible.