METHOD AND APPARATUS FOR THE MICRO-ANALYSIS OR IMAGING OF SAMPLES

Un appareil de micro-analyse ou de visionnement d'échantillons comprend: a) un agencement pour produire un faisceau atomique neutre de balayage microscopiquement focalisé, agencement qui comprend à son tour; (i) un dispositif (1) de génération d'un faisceau d'ions, (ii) un dispositif...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ECCLES, ADRIAN, JOHN, VAN DEN BERG, JAKOB, ALBERT, VICKERMAN, JOHN, CHARLES, BROWN, ALAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Un appareil de micro-analyse ou de visionnement d'échantillons comprend: a) un agencement pour produire un faisceau atomique neutre de balayage microscopiquement focalisé, agencement qui comprend à son tour; (i) un dispositif (1) de génération d'un faisceau d'ions, (ii) un dispositif (4) de balayage du faisceau d'ions, (iii) un dispositif (5) pour focaliser le faisceau d'ions sur l'endroit où l'échantillon (8) sera localisé; et (iv) un dispositif d'échange de charge (6) entre le dispositif de focalisation et l'emplacement de l'échantillon qui permet d'obtenir un faisceau neutre de balayage focalisé sur l'échantillon; et b) un dispositif de détection (9) pour détecter les particules émises par l'échantillon.