Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge
Verfahren zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mittels Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgasen, durch Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung der Oberfläche und durch Diffusionsanreicherung der Werkstücke, wobei die Temp...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; ger |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | MINTCHEV, MINTCHO SAVOV SHIVAROV, GEORGI STEFANOV SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV NITCHEV, PETER TODOROV |
| description | Verfahren zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mittels Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgasen, durch Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung der Oberfläche und durch Diffusionsanreicherung der Werkstücke, wobei die Temperatur der Werkstücke und die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen gemessen, die gemessenen Werte mit den vorgegebenen verglichen und daraus Fehlersignale erzeugt werden, die zum Erzeugen von Steuersignalen dienen, dadurch gekennzeichnet, daß während der Etappe Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung ihrer Oberfläche die Spannung der Glimmentladung mindestens einen konstanten Wert besitzt, der einem vorgegebenen entspricht, bei dem die Kathodenzerstäubung der Werkstücke eine vorgegebene Intensität besitzt, daß während der Diffusionsanreicherung der Werkstücke bei vorgegebener Temperatur die Spannung der Glimmentladung einen anderen, mindestens einen konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die gewünschten Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der Abkühlung die Spannung der Glimmentladung mindestens einen dritten konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die endgültigen Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der genannten Verfahrensstufen die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen einen beliebigen Wert besitzt, deren Größe auf einen vorgegebenen konstanten Wert der Häufigkeit der Bogenentladungen begrenzt wird; daß die Temperatur der Werkstücke immer einen Wert aufweist, der einem vorgegebenen, wachsenden, konstanten und sinkenden Temperaturwert der Werkstücke entspricht, welcher Wert zusammen mit dem erwähnten, mindestens einen vorgegebenen wert der Spannung der Glimmentladung, die vorgegebene Intensität der Kathodenzerstäubung und die gezielten endgültigen Eigenschaften der Werkstücke gewährleistet; daß während der Verfahrensstufen Behandlungsgase verwendet werden, die sich in einer Folge befinden, die der Reihe vorgegebener Spannungswerte der Glimmentladung entspricht, welche Spannung durch den Durchfluß der Behandlungsgase gesteuert wird; daß während jeder Verfahrensstufe außer der Temperatur der Werkstücke und der Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen noch der Strom der Glimmentladung und der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung gemessen werden, (diese vier mit ihren ents |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_EP0183230A2</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>EP0183230A2</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_EP0183230A23</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqNirEKwjAURbs4iPoP9wcKtV1cRVpcBAf38khfmmCaF5In_X07-AEOh8OBs6_sg9XJBIobKVEm_RRYyTASNUsIPs5QxzCOF28o1FvkhQI0M-nCUSEWq-Q3kmfDBT6CYIOsmHwxjvLMx2pnKRQ-_XyoMPSv273mJCOXRIYj69g_m_Ola7vm2nZ_LF_usD8A</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge</title><source>esp@cenet</source><creator>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV ; SHIVAROV, GEORGI STEFANOV ; SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV ; NITCHEV, PETER TODOROV</creator><creatorcontrib>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV ; SHIVAROV, GEORGI STEFANOV ; SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV ; NITCHEV, PETER TODOROV</creatorcontrib><description>Verfahren zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mittels Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgasen, durch Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung der Oberfläche und durch Diffusionsanreicherung der Werkstücke, wobei die Temperatur der Werkstücke und die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen gemessen, die gemessenen Werte mit den vorgegebenen verglichen und daraus Fehlersignale erzeugt werden, die zum Erzeugen von Steuersignalen dienen, dadurch gekennzeichnet, daß während der Etappe Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung ihrer Oberfläche die Spannung der Glimmentladung mindestens einen konstanten Wert besitzt, der einem vorgegebenen entspricht, bei dem die Kathodenzerstäubung der Werkstücke eine vorgegebene Intensität besitzt, daß während der Diffusionsanreicherung der Werkstücke bei vorgegebener Temperatur die Spannung der Glimmentladung einen anderen, mindestens einen konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die gewünschten Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der Abkühlung die Spannung der Glimmentladung mindestens einen dritten konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die endgültigen Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der genannten Verfahrensstufen die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen einen beliebigen Wert besitzt, deren Größe auf einen vorgegebenen konstanten Wert der Häufigkeit der Bogenentladungen begrenzt wird; daß die Temperatur der Werkstücke immer einen Wert aufweist, der einem vorgegebenen, wachsenden, konstanten und sinkenden Temperaturwert der Werkstücke entspricht, welcher Wert zusammen mit dem erwähnten, mindestens einen vorgegebenen wert der Spannung der Glimmentladung, die vorgegebene Intensität der Kathodenzerstäubung und die gezielten endgültigen Eigenschaften der Werkstücke gewährleistet; daß während der Verfahrensstufen Behandlungsgase verwendet werden, die sich in einer Folge befinden, die der Reihe vorgegebener Spannungswerte der Glimmentladung entspricht, welche Spannung durch den Durchfluß der Behandlungsgase gesteuert wird; daß während jeder Verfahrensstufe außer der Temperatur der Werkstücke und der Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen noch der Strom der Glimmentladung und der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung gemessen werden, (diese vier mit ihren entsprechenden vorgegebenen Werten vergleichen werden), daß außer den gemessenen Temperaturwerten der Werkstücke und der Häufigkeit der Bogenentladungen auch der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung mit ihren vorgegebenen Werten verglichen werden und von den erhaltenen Fehlersignalen für die Temperatur und Häufigkeit entsprechende Steuersignale für die Temperatur und die Häufigkeit gewonnen und summiert werden, daß das Additionssignal mit einem dem Entladungsstrom proportionalen Signal vergleichen wird, und daß dadurch ein Fehlersignal erhalten und von ihm ein Steuersignal für die Spannung der Glimmentladung erzeugt wird, so daß der Strom der Glimmentladung dem Additionssignal der Steuersignale der Temperatur und der Häufigkeit nach einem PID-Gesetz entspricht und vom Fehlersignal der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung ein Steuerungssignal für den Durchfluß des Behandlungsgases erzeugt wird, so daß der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung dem vorgegebenen Wert nach einem weiteren PID-Gesetz entspricht. Vorrichtung zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mit Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgas, zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einer Gleichspannungsquelle (1), mit einer Arbeitskammer (3) zur Aufnahme der Werkstücke (7), die mit einem Temperaturdatengeber (8) wärmeleitend verbunden sind, der mittels eines ersten Vergleichselementes (9) mit einem ersten Regler (11) verbunden ist, wobei der Gasausgang der Arbeitskammer (3) mittels einer Vakuumpumpe (26) mit der
The method and device for controlling the thermo chemical treatment of workpieces in slow discharge in a medium of treating gas, includes operating stages of warm-up with simultaneous intensive cathode sputtering, diffusion saturation, and cooling of treated workpieces. During each stage the workpiece temperature, the frequency of occurring arc discharges and the glow discharge voltage are measured and compared with preset values. Corresponding error signals and control signals are obtained and used to regulate the treated workpiece temperature and the arc discharge frequency using the discharge current value, and the glow discharge voltage using the flow rate value of one of at least two treating gases that enter the working chamber, a preset value of glow discharge voltage corresponding to each treating gas.</description><edition>4</edition><language>eng ; fre ; ger</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ; ELECTRICITY ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; METALLURGY ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><creationdate>1986</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=19860604&DB=EPODOC&CC=EP&NR=0183230A2$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25563,76318</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=19860604&DB=EPODOC&CC=EP&NR=0183230A2$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIVAROV, GEORGI STEFANOV</creatorcontrib><creatorcontrib>SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV</creatorcontrib><creatorcontrib>NITCHEV, PETER TODOROV</creatorcontrib><title>Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge</title><description>Verfahren zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mittels Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgasen, durch Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung der Oberfläche und durch Diffusionsanreicherung der Werkstücke, wobei die Temperatur der Werkstücke und die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen gemessen, die gemessenen Werte mit den vorgegebenen verglichen und daraus Fehlersignale erzeugt werden, die zum Erzeugen von Steuersignalen dienen, dadurch gekennzeichnet, daß während der Etappe Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung ihrer Oberfläche die Spannung der Glimmentladung mindestens einen konstanten Wert besitzt, der einem vorgegebenen entspricht, bei dem die Kathodenzerstäubung der Werkstücke eine vorgegebene Intensität besitzt, daß während der Diffusionsanreicherung der Werkstücke bei vorgegebener Temperatur die Spannung der Glimmentladung einen anderen, mindestens einen konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die gewünschten Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der Abkühlung die Spannung der Glimmentladung mindestens einen dritten konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die endgültigen Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der genannten Verfahrensstufen die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen einen beliebigen Wert besitzt, deren Größe auf einen vorgegebenen konstanten Wert der Häufigkeit der Bogenentladungen begrenzt wird; daß die Temperatur der Werkstücke immer einen Wert aufweist, der einem vorgegebenen, wachsenden, konstanten und sinkenden Temperaturwert der Werkstücke entspricht, welcher Wert zusammen mit dem erwähnten, mindestens einen vorgegebenen wert der Spannung der Glimmentladung, die vorgegebene Intensität der Kathodenzerstäubung und die gezielten endgültigen Eigenschaften der Werkstücke gewährleistet; daß während der Verfahrensstufen Behandlungsgase verwendet werden, die sich in einer Folge befinden, die der Reihe vorgegebener Spannungswerte der Glimmentladung entspricht, welche Spannung durch den Durchfluß der Behandlungsgase gesteuert wird; daß während jeder Verfahrensstufe außer der Temperatur der Werkstücke und der Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen noch der Strom der Glimmentladung und der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung gemessen werden, (diese vier mit ihren entsprechenden vorgegebenen Werten vergleichen werden), daß außer den gemessenen Temperaturwerten der Werkstücke und der Häufigkeit der Bogenentladungen auch der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung mit ihren vorgegebenen Werten verglichen werden und von den erhaltenen Fehlersignalen für die Temperatur und Häufigkeit entsprechende Steuersignale für die Temperatur und die Häufigkeit gewonnen und summiert werden, daß das Additionssignal mit einem dem Entladungsstrom proportionalen Signal vergleichen wird, und daß dadurch ein Fehlersignal erhalten und von ihm ein Steuersignal für die Spannung der Glimmentladung erzeugt wird, so daß der Strom der Glimmentladung dem Additionssignal der Steuersignale der Temperatur und der Häufigkeit nach einem PID-Gesetz entspricht und vom Fehlersignal der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung ein Steuerungssignal für den Durchfluß des Behandlungsgases erzeugt wird, so daß der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung dem vorgegebenen Wert nach einem weiteren PID-Gesetz entspricht. Vorrichtung zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mit Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgas, zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einer Gleichspannungsquelle (1), mit einer Arbeitskammer (3) zur Aufnahme der Werkstücke (7), die mit einem Temperaturdatengeber (8) wärmeleitend verbunden sind, der mittels eines ersten Vergleichselementes (9) mit einem ersten Regler (11) verbunden ist, wobei der Gasausgang der Arbeitskammer (3) mittels einer Vakuumpumpe (26) mit der
The method and device for controlling the thermo chemical treatment of workpieces in slow discharge in a medium of treating gas, includes operating stages of warm-up with simultaneous intensive cathode sputtering, diffusion saturation, and cooling of treated workpieces. During each stage the workpiece temperature, the frequency of occurring arc discharges and the glow discharge voltage are measured and compared with preset values. Corresponding error signals and control signals are obtained and used to regulate the treated workpiece temperature and the arc discharge frequency using the discharge current value, and the glow discharge voltage using the flow rate value of one of at least two treating gases that enter the working chamber, a preset value of glow discharge voltage corresponding to each treating gas.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</subject><subject>CHEMISTRY</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</subject><subject>COATING METALLIC MATERIAL</subject><subject>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</subject><subject>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</subject><subject>METALLURGY</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>1986</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNirEKwjAURbs4iPoP9wcKtV1cRVpcBAf38khfmmCaF5In_X07-AEOh8OBs6_sg9XJBIobKVEm_RRYyTASNUsIPs5QxzCOF28o1FvkhQI0M-nCUSEWq-Q3kmfDBT6CYIOsmHwxjvLMx2pnKRQ-_XyoMPSv273mJCOXRIYj69g_m_Ola7vm2nZ_LF_usD8A</recordid><startdate>19860604</startdate><enddate>19860604</enddate><creator>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV</creator><creator>SHIVAROV, GEORGI STEFANOV</creator><creator>SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV</creator><creator>NITCHEV, PETER TODOROV</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>19860604</creationdate><title>Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge</title><author>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV ; SHIVAROV, GEORGI STEFANOV ; SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV ; NITCHEV, PETER TODOROV</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_EP0183230A23</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>1986</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</topic><topic>CHEMISTRY</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</topic><topic>COATING METALLIC MATERIAL</topic><topic>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</topic><topic>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</topic><topic>METALLURGY</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV</creatorcontrib><creatorcontrib>SHIVAROV, GEORGI STEFANOV</creatorcontrib><creatorcontrib>SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV</creatorcontrib><creatorcontrib>NITCHEV, PETER TODOROV</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>MINTCHEV, MINTCHO SAVOV</au><au>SHIVAROV, GEORGI STEFANOV</au><au>SAVOV, SVETOSLAV ALEXANDROV</au><au>NITCHEV, PETER TODOROV</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge</title><date>1986-06-04</date><risdate>1986</risdate><abstract>Verfahren zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mittels Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgasen, durch Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung der Oberfläche und durch Diffusionsanreicherung der Werkstücke, wobei die Temperatur der Werkstücke und die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen gemessen, die gemessenen Werte mit den vorgegebenen verglichen und daraus Fehlersignale erzeugt werden, die zum Erzeugen von Steuersignalen dienen, dadurch gekennzeichnet, daß während der Etappe Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung ihrer Oberfläche die Spannung der Glimmentladung mindestens einen konstanten Wert besitzt, der einem vorgegebenen entspricht, bei dem die Kathodenzerstäubung der Werkstücke eine vorgegebene Intensität besitzt, daß während der Diffusionsanreicherung der Werkstücke bei vorgegebener Temperatur die Spannung der Glimmentladung einen anderen, mindestens einen konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die gewünschten Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der Abkühlung die Spannung der Glimmentladung mindestens einen dritten konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die endgültigen Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der genannten Verfahrensstufen die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen einen beliebigen Wert besitzt, deren Größe auf einen vorgegebenen konstanten Wert der Häufigkeit der Bogenentladungen begrenzt wird; daß die Temperatur der Werkstücke immer einen Wert aufweist, der einem vorgegebenen, wachsenden, konstanten und sinkenden Temperaturwert der Werkstücke entspricht, welcher Wert zusammen mit dem erwähnten, mindestens einen vorgegebenen wert der Spannung der Glimmentladung, die vorgegebene Intensität der Kathodenzerstäubung und die gezielten endgültigen Eigenschaften der Werkstücke gewährleistet; daß während der Verfahrensstufen Behandlungsgase verwendet werden, die sich in einer Folge befinden, die der Reihe vorgegebener Spannungswerte der Glimmentladung entspricht, welche Spannung durch den Durchfluß der Behandlungsgase gesteuert wird; daß während jeder Verfahrensstufe außer der Temperatur der Werkstücke und der Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen noch der Strom der Glimmentladung und der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung gemessen werden, (diese vier mit ihren entsprechenden vorgegebenen Werten vergleichen werden), daß außer den gemessenen Temperaturwerten der Werkstücke und der Häufigkeit der Bogenentladungen auch der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung mit ihren vorgegebenen Werten verglichen werden und von den erhaltenen Fehlersignalen für die Temperatur und Häufigkeit entsprechende Steuersignale für die Temperatur und die Häufigkeit gewonnen und summiert werden, daß das Additionssignal mit einem dem Entladungsstrom proportionalen Signal vergleichen wird, und daß dadurch ein Fehlersignal erhalten und von ihm ein Steuersignal für die Spannung der Glimmentladung erzeugt wird, so daß der Strom der Glimmentladung dem Additionssignal der Steuersignale der Temperatur und der Häufigkeit nach einem PID-Gesetz entspricht und vom Fehlersignal der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung ein Steuerungssignal für den Durchfluß des Behandlungsgases erzeugt wird, so daß der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung dem vorgegebenen Wert nach einem weiteren PID-Gesetz entspricht. Vorrichtung zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mit Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgas, zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einer Gleichspannungsquelle (1), mit einer Arbeitskammer (3) zur Aufnahme der Werkstücke (7), die mit einem Temperaturdatengeber (8) wärmeleitend verbunden sind, der mittels eines ersten Vergleichselementes (9) mit einem ersten Regler (11) verbunden ist, wobei der Gasausgang der Arbeitskammer (3) mittels einer Vakuumpumpe (26) mit der
The method and device for controlling the thermo chemical treatment of workpieces in slow discharge in a medium of treating gas, includes operating stages of warm-up with simultaneous intensive cathode sputtering, diffusion saturation, and cooling of treated workpieces. During each stage the workpiece temperature, the frequency of occurring arc discharges and the glow discharge voltage are measured and compared with preset values. Corresponding error signals and control signals are obtained and used to regulate the treated workpiece temperature and the arc discharge frequency using the discharge current value, and the glow discharge voltage using the flow rate value of one of at least two treating gases that enter the working chamber, a preset value of glow discharge voltage corresponding to each treating gas.</abstract><edition>4</edition><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | eng ; fre ; ger |
| recordid | cdi_epo_espacenet_EP0183230A2 |
| source | esp@cenet |
| subjects | BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION |
| title | Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-11T14%3A44%3A25IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=MINTCHEV,%20MINTCHO%20SAVOV&rft.date=1986-06-04&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EEP0183230A2%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |