Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge

Verfahren zur Steuerung der chemisch-thermischen Behandlung von Werkstücken mittels Glimmentladung in einer Atmosphäre von Behandlungsgasen, durch Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung der Oberfläche und durch Diffusionsanreicherung der Werkstücke, wobei die Temperatur der Werkstücke und die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen gemessen, die gemessenen Werte mit den vorgegebenen verglichen und daraus Fehlersignale erzeugt werden, die zum Erzeugen von Steuersignalen dienen, dadurch gekennzeichnet, daß während der Etappe Erwärmung der Werkstücke bei gleichzeitiger intensiver Kathodenzerstäubung ihrer Oberfläche die Spannung der Glimmentladung mindestens einen konstanten Wert besitzt, der einem vorgegebenen entspricht, bei dem die Kathodenzerstäubung der Werkstücke eine vorgegebene Intensität besitzt, daß während der Diffusionsanreicherung der Werkstücke bei vorgegebener Temperatur die Spannung der Glimmentladung einen anderen, mindestens einen konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die gewünschten Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der Abkühlung die Spannung der Glimmentladung mindestens einen dritten konstanten Wert besitzt, der mindestens einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die endgültigen Eigenschaften der Werkstücke erhalten werden, daß während der genannten Verfahrensstufen die Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen einen beliebigen Wert besitzt, deren Größe auf einen vorgegebenen konstanten Wert der Häufigkeit der Bogenentladungen begrenzt wird; daß die Temperatur der Werkstücke immer einen Wert aufweist, der einem vorgegebenen, wachsenden, konstanten und sinkenden Temperaturwert der Werkstücke entspricht, welcher Wert zusammen mit dem erwähnten, mindestens einen vorgegebenen wert der Spannung der Glimmentladung, die vorgegebene Intensität der Kathodenzerstäubung und die gezielten endgültigen Eigenschaften der Werkstücke gewährleistet; daß während der Verfahrensstufen Behandlungsgase verwendet werden, die sich in einer Folge befinden, die der Reihe vorgegebener Spannungswerte der Glimmentladung entspricht, welche Spannung durch den Durchfluß der Behandlungsgase gesteuert wird; daß während jeder Verfahrensstufe außer der Temperatur der Werkstücke und der Häufigkeit der entstehenden Bogenentladungen noch der Strom der Glimmentladung und der Amplitudenwert der Spannung der Glimmentladung gemessen werden, (diese vier mit ihren ents