VACUUM COATING INSTALLATION AND COATING METHOD

An apparatus and a method for saving energy while increasing the conveying speed in vacuum coating plants consisting of a series of sputtering segments (3) and gas separation segments (2) along with a continuous substrate plane (1), characterized by the following features: a) each of the sputtering segments (3) consists of a tank tub (12) inside which a conveying device (11) is located, wherein the flange (6) of the tank is positioned in the immediate vicinity above the substrate plane (1), wherein a cathode bearing block (5), along with targets (8) and gas inlet ducts (10), is located in the tank cover (4) in the immediate vicinity of the substrate together with splash guards (9); b) in the region of the substrate plane (1), the gas separation segments (2) are provided with a tunnel cover (14) that extends along the entire length of the gas separation segment (2); c) sputtering segments (3) and/or gas separation segments (2) are evacuated using one or more vacuum pumps (15), wherein the air pumped in said process is trapped in an air reservoir (25) having an adjustable volume. Устройство и способ экономии электроэнергии и одновременного повышения пропускной скорости в вакуумных установках для нанесения покрытий, состоящих из последовательности распылительных сегментов (3) и газовых разделительных сегментов (2) с одной сплошной подложечной плоскостью (1), характеризующиеся следующими признаками: a) каждый распылительный сегмент (3) состоит из ванны (12) реактора с расположенным внутри транспортирующим устройством (11), причем фланец (6) реактора установлен в непосредственной близости над подложечной плоскостью (1), причем катодный опорный блок (5) с мишенями (8) и впускные каналы (10) для газа находятся в непосредственной близости от подложки с отбойными щитками (9) в крышке (4) реактора; b) газовые разделительные сегменты (2) в области подложечной плоскости (1) снабжены проходящим по всей длине газового разделительного сегмента (2) сводом (14) туннеля; c) вакуумирование распылительных сегментов (3) и/или газовых разделительных сегментов (2) осуществляется с помощью одного или нескольких вакуумных насосов (15), причем отводимый при этом воздух собирается в изменяющемся в объеме воздухосборнике (25).