COORDINATE DRIVE AND METHOD FOR CONTROL THEREOF

The invention relates to the field of mechanical engineering, in particular, to devices providing linear movement of a machining tool relative to the item being machined, and can be used in high-precision processing equipment for cutting of silicon plates with a diamond disk tool. The result to which the proposed technical solution is directed consists in a significant decrease in amplitude of free oscillations. This result is attained, according to the proposed technical solution, by introducing the following interconnected elements into a belt-transmission coordinate drive: an additional motive force module, a unit for determining self-oscillation amplitude of a carriage movable along a guide, a narrow bandpass filter with a transmission band corresponding to the movable carriage self-oscillation frequency, a vibration sensor mounted on a movable carriage in the direction of its movement, and a unit for determining electric power consumed by the electric motor; and in a method for motive force control, the additional motion force drive is linked to the carriage and provides programmable variation of the additional motion force. Implementation of the proposed technical solution allows practical elimination of occurrence of free oscillations of the movable carriage. Изобретение относится к области машиностроения, а именно к устройствам, обеспечивающим линейное перемещение обрабатывающего инструмента относительно обрабатываемого изделия, и может быть использовано в высокоточном технологическом оборудовании при резце кремниевых пластин алмазным дисковым инструментом. Результат, для достижения которого направлено данное техническое решение, заключается в существенном уменьшении амплитуды собственных колебаний. Достижение результата в предлагаемом техническом решении достигается тем, что в привод перемещения координатного устройства с ременной передачей введены взаимосвязанные между собой модуль дополнительного тягового усилия, блок определения амплитуды собственных колебаний подвижной каретки вдоль направляющей, узкополосный фильтр с полосой пропускания, соответствующей частоте собственных колебаний подвижной каретки, вибродатчик, установленный на подвижной каретке в направлении ее перемещения, и блок определения электрической мощности, потребляемой электродвигателем, а в способе управления тяговым усилием привод дополнительного тягового усилия связан с кареткой и обеспечивает программируемое изменение дополнительного тягового усилия. Реализация данного техни