APPARATUS FOR SYNTHESIS OF CARBONIC NANOSTRUCTURES

The invention relates to a technology of production carbonic nanostructures and can be used in electronic industry. An apparatus for the synthesis of carbonic nanostructures comprises a reactor 1, a sample holder 2, at least one reactor heater 3. at least one capacity for liquid-phase 4 which provided with a system of controlling reagents 5 discharge, at least one atomizer 6 for injecting the liquid-phase reagent into an evaporator 7, a means for creating a uniform reagent stream in the reactor 8 by its concentration, a system of pressure control and regulation in reactor 9, and, at least one capacity for carrier-gas 10. The sample holder 2 is installed in reactor 1 adapted for linear displacement along the reactor and/or for angular displacement. The system of controlling reagents 5 discharge is also adapted the pressure regulation upon said the liquid-phase reagent by providing an excess gas pressure on the liquid-phase reagent or as a piston. The inventive result is aimed at broadening functional abilities of the apparatus providing wider varying regimes of nanostructures grow in a wide range with sufficient repeatability of results that also ensures ability to grow different types of carbonic nanostructures at one sample. Изобретение относится к области технологии изготовления углеродных наноструктур. Изобретение может быть использовано в электронной промышленности. Устройство для синтеза углеродных наноструктур содержит реактор 1, держатель образцов 2, по меньшей мере один нагреватель реактора 3, по меньшей мере одну емкость для жидкофазных реактивов 4, которая снабжена системой регулирования расхода реактивов 5, по меньшей мере один распылитель 6 для впрыскивания жидкофазного реагента в испаритель 7, средство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе 8, систему контроля и регулирования давления в реакторе 9 и по меньшей мере одну емкостью для газа-носителя 10. Держатель образцов 2 установлен в реакторе 1 с возможностью линейного перемещения вдоль реактора и/или углового перемещения. Система регулирования расхода реактивов 5 выполнена с возможностью регулирования давления на указанный жидкофазный реактив путем создания избыточного давления газа на жидкофазный реактив или в виде поршня. Технический результат заключается в расширении функциональных возможностей установки с обеспечением возможности варьирования режимов выращивания наноструктур в широком диапазоне при достаточной воспроизводимости результатов, что также обеспечи