Vibrationssensor med lavfrekvens roll-off responskurve

Den foreliggende opfindelse angår en vibrationssensor, der omfatter en trykdetekteringsordning, der er indrettet til at detektere genererede trykvariationer og levere et udgangssignal som reaktion på de detekterede trykvariationer, hvor trykdetekteringsanordningen omfatter en mikrofonenhed, der omfatter en mikrofon-kapsel og en signalbehandlingsenhed, og en trykgenereringsanordning, der er indrettet til at generere trykvariationer som reaktion på vibrationer heraf, hvor trykgenereringsanordningen omfatter et ophængningselement og en bevægelig masse, der er fastgjort dertil, hvor trykgenereringsanordningen er fastgjort til en udvendig overfladedel af trykdetekteringsanordningen. I en foretrukken udførelsesform omfatter trykdetekteringsanordningen en separat og selvstændig MEMS-mikrofonenhed, der omfatter en MEMS mikrofon-kapsel og en signalbehandlingsenhed. The present invention relates to a vibration sensor comprising a pressure detecting arrangement adapted to detect generated pressure variations, and provide an output signal in response to the detected pressure variations, and a pressure generating arrangement adapted to generate pressure variations in response to movements thereof wherein an intermediate volume exists between the pressure detecting arrangement and the pressure generating arrangement. In a preferred embodiment the pressure detecting arrangement comprises a stand-alone and self-contained MEMS microphone unit comprising a MEMS microphone cartridge and a signal processing unit.