Optisches Gerät zur Detektion einer Verschiebung

An apparatus for detecting the displacement information of an object to be measured has a light source, an electro-optical crystal disposed at the incidence position of a light beam from the light source, the light beam being modulated in the electro-optical crystal, the light beam being internally...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TAKAMIYA, MAKOTO, KADOWAKI, HIDEJIRO
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!