Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit einem Feldeffekttransistor mit leichtdotierten Source- und Drainschichten

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SPENCER, OLIVER S, BREITEN, CHARLES P, BRADY, FREDERICK T, HADDAD, NADIM F, HOUSTON, WILLIAM G, WRIGHT, STEVEN J
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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