Spiegel mit deformierbarer Membran

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BABADJIAN, LIONEL, COVILLE, ARNAUD, CAREL, JEAN-LOUIS, GILLES, ROBERT, HERRIAU, JEAN-PIERRE, SPIRKOVITCH, SERGE
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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