VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATGEBUNDENEM, GROSSFLAECHIGEM SILICIUM

Process for the manufacture of silicon of large surface area bonded to a substrate, which comprises depositing silicon to a thickness of from 30 to 500 mu m onto panel-shaped substrates of glassy carbon (a glass-like carbon obtained by carbonizing a spatially cross-linked synthetic resin) that are h...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SCHMIDT,DIETRICH,.DR, AUTHIER,BERNHARD, RATH,HEINZ-JOERG,.DR, HOFER,JOHANN
Format: Patent
Sprache:ger
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