Verfahren zur Herstellung eines tiefen flaschenförmigen Graben-Kondensators

Production of a deep trench capacitor comprises preparing a substrate having a hard mask layer and an insulating layer; patterning the mask layer and the insulating layer to form a trench with side walls; forming an insulating layer within the trench; forming an intermediate layer made of hard metal...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SHIAO, J. S, YEN, WEN-PING
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ELECTRICITY
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