Miniature polymer electrolyte membrane fuel cell, used in microsystems, has a structure produced by a combination of thin film, microsystem etching and glass-silicon bonding technologies

A microsystem polymer electrolyte membrane (PEM) fuel cell is produced by a combination of thin film, microsystem etching and glass/silicon bonding technology. A microsystem PEM fuel cell comprises a complete fuel cell structure which is produced by a thin film process on porous membranes formed in a silicon substrate by a microsystem technology etching process, and which comprises a plasma polymerized membrane, two catalyst metal-doped porous graphite layers and elements for connecting the structure to parallel produced structures, the structure allowing spatially separate and uniform supply of fuel from both sides by means of a glass/silicon bonding technique. Die Erfindung betrifft eine miniaturisierte PEM-(Polymer-Elektrolyt-Membran)-Brennstoffzelle in Mikrosystemtechnik, die mit Hilfe von Dünnschichtverfahren, insbesondere der Plasmapolymerisation zur Herstellung der ionenleitenden Membran sowie von Plasma-CVD-Verfahren zur Erzeugung leitfähiger poröser und mit Katalysatoren dotierten Kontaktschichten, vorzugsweise in einer Silizium-Glas-Technik aufgebaut wird. Diese Struktur eröffnet auch einfache Möglichkeiten zur Parallel- und Reihen-Verschaltung der Zellen sowie zur Brennstoff-Zu- und Abfuhr.