Transportvorrichtung

Known transport devices for transport containers of wafers (so-called carriers) and the like had the disadvantage that with only one drive roller only a non-uniform progression of the transport container was achieved. To overcome this problem, the invention provides a transport device in which two drive rollers (7, 9) are coupled with and face one another. Both drive rollers exert a uniform driving force on the webs of a container (4) so that said container is transported linearly and without jolts. The invention thus relates to a transport device for containers (4) with at least two parallel webs that comprise at least two parallel rows of castors (5, 6) on which the webs can run. The inventive transport device is characterized by at least one group of drive rollers (7, 9) for transmitting a driving force to the webs. Said group of drive rollers comprises one primary drive roller (7) and at least one secondary drive roller (9). The drive rollers (7, 9) are integrated into one row of castors (5, 6) and the primary drive roller (7) can be or is driven by a motor (8). The drive rollers (7, 9) of the at least one group of drive rollers (7, 9) are coupled with one another in such a manner that the primary drive roller (7) drives or can drive the at least one secondary drive roller (9). Bisherige Transportvorrichtungen für Transportbehälter von Wafern (sog. Carrier) u. ä. hatten den Nachteil, daß mit lediglich einer Antriebsrolle nur eine ungleichmäßige Fortbewegung des Transportbehälters erreicht wurde. Zur Überwindung dieses Problems stellt die Erfindung eine Transportvorrichtung bereit, in der zwei miteinander gekoppelte Antriebswalzen (7, 9) einander gegenüberstehen, die beide eine gleichmäßige Antriebskraft auf die Stege eines Behälters (4) ausüben, so daß dieser linear und ruckfrei weitertransportiert wird. Dementsprechend ist die Erfindung auf eine Transportvorrichtung für Behälter (4) mit zumindest zwei parallel verlaufenden Stegen gerichtet, die zumindest zwei parallele Reihen von Laufrollen (5, 6) umfasst, auf denen die Stege laufen können. Die erfindungsgemäße Transportvorrichtung wird gekennzeichnet durch zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) zur Übertragung einer Antriebskraft auf die Stege, welche eine Primärantriebsrolle (7) und zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) umfasst, wobei jede der Antriebsrollen (7, 9) in einer Reihe von Laufrollen (5, 6) eingegliedert ist, die Primärantriebsrolle (7) mittels eines Motors (8) antreibbar oder