System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten

The invention relates to a pressurised system for conveying liquids without pulsing. The inventive system can be used for highly pure liquid chemicals in the semiconductor industry. Die vorliegende Erfindung betrifft ein druckbeaufschlagtes System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten, da...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	POTH, MICHAEL, DIX, ALBERTO, TEMPEL, EBERHARD, DUSEMUND, CLAUS, FREISLER, KLAUS, JAMMER, WILFRIED
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES LIGHTING MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL MECHANICAL ENGINEERING PIPE-LINE SYSTEMS PIPE-LINES PIPES POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS PUMPS PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS SEMICONDUCTOR DEVICES STORING OF DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention relates to a pressurised system for conveying liquids without pulsing. The inventive system can be used for highly pure liquid chemicals in the semiconductor industry. Die vorliegende Erfindung betrifft ein druckbeaufschlagtes System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten, das für hochreine flüssige Chemikalien in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden kann.