Strip line arrangement for microwave-induced plasma sources for analytical atom spectrometry has gas lines integrated into dielectric substrate or basic metallization

The strip line arrangement (7) has gas lines (6) integrated into its dielectric substrate (8) or its basic metallisation (2). Atomizers are integrated into the gas lines. Optical fibres are used as optical detectors and can be integrated into the substrate. Technisches Problem der Erfindung DOLLAR A Die in der analytischen Atomspektrometrie eingesetzten Mikrowellenplasmaquellen werden mit relativ hohen Gasdurchsätzen (> 11/min) und hohen Mikrowellenleistungen (> 100 W) betrieben. Letztere werden durch Magnetronsender erzeugt, die jedoch einen mobilen Einsatz erschweren und nur bei 2450 MHz kostengüstig zur Verfügung stehen. DOLLAR A Lösung des Problems DOLLAR A Streifenleitungsanordnungen für mikrowelleninduzierte Plasmaquellen erlauben minituarisierte Anordnungen mit einfach zu integrierenden Anpaßschaltungen für niedrige Mikrowellenleitungen (> 20 W, mit kostengünstigen Transistorsendern zu erzeugen) und niedrige Gasflüsse und damit geringe Probenmengen. In das dielektrische Substrat werden durch gängige Mikrostrukturierungsverfahren Zuführungen für Trägergas und Analyt integriert. Streifenleitungsanordnungen lassen sich mit hoher Genauigkeit, hoher Reproduzierbarkeit und niedrigen Kosten herstellen. DOLLAR A Anwendungsgebiet DOLLAR A Die Plasmaquelle eignet sich besonders für kompakte Anordnungen in der analytischen Atomspektrometrie. Der Bereich der online-Analytiken aufgrund der kostengünstigen Betriebsparameter und der vor Ort Analytik, durch geringe Abmessungen und durch einfache Handhabung, auch in umweltrelavanten Fragestellungen, sind hier besonders hervorzuheben.