Druckgeber
A pressure sensor (10) with a diaphragm (20) that is made of metal, especially special steel. Measuring shunts (30) are provided in a bending area using thin-layer technology. An evaluation circuit (35) and other electronic components such as capacitors (40) are arranged on an extension (32) of the...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | A pressure sensor (10) with a diaphragm (20) that is made of metal, especially special steel. Measuring shunts (30) are provided in a bending area using thin-layer technology. An evaluation circuit (35) and other electronic components such as capacitors (40) are arranged on an extension (32) of the diaphragm (20). This results in a very compact design with relatively few electric connections.
Bei einem Druckgeber (10) ist die Membran (20) aus Metall, insbesondere Edelstahl hergestellt. Im Biegebereich (21) der Membran (20) sind die Meßwiderstände (30) in Dünnschichttechnik aufgebracht. Ferner befinden sich auf einem Fortsatz (32) der Membran (20) die Auswerteschaltung (35) und weitere elektronische Bauteile, wie z. B. Kondensatoren (40). Dadurch ist eine sehr kompakte Bauweise mit relativ wenig elektrischen Verbindungsstellen möglich. |
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