VORRICHTUNG, SYSTEM UND VERFAHREN ZUR REDUZIERUNG VON HAARRISSBILDUNG

Abscheidungssystem, das Folgendes umfasst:eine Wechselstromversorgung mit einem ersten Ausgang und einem zweiten Ausgang;ein erstes Triaxialkabel, das geerdet ist, wobei das erste Triaxialkabel einen ersten Mittelleiter und eine erste leitfähige Abschirmung umfasst;ein zweites Triaxialkabel, das geerdet ist, wobei das zweite Triaxialkabel einen zweiten Mittelleiter und eine zweite leitfähige Abschirmung umfasst;eine Abscheidungskammer mit einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss;wobei der erste Ausgang mit dem ersten Mittelleiter gekoppelt ist und der zweite Ausgang mit der ersten leitfähigen Abschirmung gekoppelt ist, wobei der erste Ausgang mit der zweiten leitfähigen Abschirmung gekoppelt ist und der zweite Ausgang mit dem zweiten Mittelleiter gekoppelt ist;wobei der erste Mittelleiter mit dem ersten Anschluss gekoppelt ist und die zweite innere leitfähige Abschirmung mit dem ersten Anschluss gekoppelt ist; undwobei die erste innere leitfähige Abschirmung mit dem zweiten Anschluss gekoppelt ist und der zweite Mittelleiter mit dem zweiten Anschluss gekoppelt ist. A coating system that reduces parasitic currents that may cause crazing in coatings on a substrate. In one example, the system includes a pair of low impedance shunt paths to ground for parasitic AC currents generated from the plasma in the chamber. The low impedance shunts may be provided through a balanced triaxial connection between a power supply of each chamber and the magnetrons of each chamber. In another example, potential differences between adjacent chambers are minimized through synchronized power supply signals between chambers.