LED-Futter

Bereitgestellt wird ein LED-Futter, das umfasst: eine obere Platte, auf der ein zu inspizierendes Objekt angebracht ist; ein LED-Array-Substrat, das dem zu inspizierenden Objekt zugewandt angeordnet ist und das mit einer Vielzahl von LEDs zum Erwärmen des zu inspizierenden Objekts versehen ist, das auf der oberen Platte angebracht ist; eine Kühlplatte, die an einer Rückseite des LED- Array-Substrat angeordnet ist; ein LED-Steuersubstrat, das an einer Rückseite der Kühlplatte angeordnet ist und das die Vielzahl von LEDs steuert; und eine Grundplatte, die so angeordnet ist, dass sie das LED-Steuersubstrat umgibt. Eine Oberfläche der Kühlplatte, die dem LED-Steuersubstrat zugewandt ist, und eine Oberfläche der Grundplatte, die dem LED-Steuersubstrat zugewandt ist, bestehen aus einem magnetischen Material. There is provided an LED chuck comprising: a top plate on which an object to be inspected is mounted; an LED array substrate disposed to face the object to be inspected, and provided with a plurality of LEDs for heating the object to be inspected that is mounted on the top plate; a cooling plate disposed on a back side of the LED array substrate; an LED control substrate disposed on a back side of the cooling plate and controlling the plurality of LEDs; and a base plate disposed to surround the LED control substrate. A surface of the cooling plate facing the LED control substrate and a surface of the base plate facing the LED control substrate are formed of a magnetic material.