Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren

Eine Steuereinheit (16) führt aus: ein Steuern des Bildens einer Schneidrille durch Führen eines ersten Laserstrahls entlang einem vorbestimmten Bearbeitungspfad, der einer Außenkontur des Produkts in einer Richtung innerhalb einer Ebene einer Oberseite des Werkstücks als der mit dem Laserstrahl bearbeiteten Fläche entspricht; ein Steuern des Unterbrechens der Bestrahlung mit dem ersten Laserstrahl sobald eine Bestrahlungsposition des Laserstrahls vor einem Endpunkt des Bearbeitungspfads erreicht wird; und ein Steuern des Fortführens des Ausstoßens von Gas über eine erste Wartezeitspanne, während die Bestrahlung mit dem ersten Laserstrahl unterbrochen ist. Die Steuereinheit (16) führt aus: ein Steuern des Bestrahlens des Werkstücks mit einem zweiten Laserstrahl, der auf das Werkstück pro Zeiteinheit weniger thermische Energie überträgt, als der erste Laserstrahl; ein Steuern des Beibehaltens des Bestrahlens des Werkstücks mit dem zweiten Laserstrahl über eine zweite Wartezeitspanne; und ein Steuern des Bildens eines das Produkt und den Verschnitt koppelnden Verbindungsbereichs durch Führen des zweiten Laserstrahls in einen ungeschnittenen Bereich, wobei der Verbindungsbereich eine geringere Dicke in der Dickenrichtung des Werkstücks aufweist, als die Dicke des Werkstücks. A control unit performs: a control of forming a cut groove by running a first laser beam along a machining path in an in-plane direction of an upper surface of the workpiece; a control of stopping irradiation with the first laser beam when an irradiation position of the laser beam reaches a position short of an end point on the machining path; and a control of continuing ejection of gas over a first waiting time. The control unit performs: a control of irradiating the workpiece with a second laser beam that gives less thermal energy to the workpiece per unit time than the first laser beam; and a control of forming a joint portion coupling the product and the offcut by running the second laser beam in an uncut region on the machining path, the joint portion having a thickness smaller than a thickness of the workpiece.