LUFTSTRÖMUNGSMESSER

Dieser Luftströmungsmesser umfasst eine Einhausung mit einem Hilfsdurchgang und einer Kreislaufkammer und einem Durchflusserfassungssensor. Der Durchflusserfassungssensor weist eine Membran auf, in der eine Durchflusserfassungseinheit auf einer Hauptoberfläche ausgebildet ist, einen vertieften Abschnitt, der auf der Rückseite der Membran ausgebildet ist, und ein Gehäuseteil mit einem ersten Gehäuseabschnitt und einem zweiten Gehäuseabschnitt, wobei der erste Gehäuseabschnitt im Hilfsdurchgang positioniert ist und der zweite Gehäuseabschnitt in der Kreislaufkammer positioniert ist. Ein Luftstromdurchgang, der mit dem vertieften Abschnitt verbunden ist, ist im Inneren des Gehäuseteils ausgebildet. Der vertiefte Abschnitt steht mit dem Hilfsdurchgang über eine Mehrzahl von Lüftungswegen in Verbindung, die mit dem Hilfsdurchgang über den Luftstromdurchgang in Verbindung stehen. This air flow rate meter comprises a housing having an auxiliary passage and a circuit chamber, and a flow rate detection sensor. The flow rate detection sensor has a diaphragm in which a flow rate detection unit is formed on a main surface, a recessed section formed on the reverse-surface side of the diaphragm, and a package part having a first package section and a second package section, the first package section being positioned in the auxiliary passage, and the second package section being positioned in the circuit chamber. An airflow passage linked to the recessed section is formed in the interior of the package part. The recessed section communicates with the auxiliary passage via a plurality of ventilation pathways that communicate with the auxiliary passage via the airflow passage.