ELEKTRONENSTRAHL-BESTRAHLUNGSVORRICHTUNG

Eine Elektronenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung strahlt einen Elektronenstrahl von einer Elektrode, die mit einer Spitze eines leitenden Teils verbunden ist, hineinragend in das Innere eines Vakuumbehälters, über eine Metallfolie, die einen Teil von einer äußeren Wand des Vakuumbehälters bildet, zu der Außenseite des Vakuumbehälters. Die Elektronenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung enthält einen Isolator in einer röhrenförmigen Form, der den äußeren Umfang des leitenden Teils in dem Vakuumbehälter umgibt, und einen amorphen Kohlenstofffilm, der die äußere Umfangsfläche des Isolators bedeckt. An electron beam irradiation device (1) irradiates an electron beam from an electrode (12) that is connected to a tip of a conductive part (21) which projects inside a vacuum container (11), to the exterior of the vacuum container (11) via a metal foil (111) that constitutes a portion of a peripheral wall of the vacuum container (11). The electron beam irradiation device (1) includes a tubular insulator (22) that surrounds the periphery of the conductive part (21) in the vacuum container (11), and an amorphous carbon film (23) that covers the outer peripheral surface of the insulator (22).