Platinenfördervorrichtung und Platinenförderverfahren

Eine Platinenfördervorrichtung ist versehen mit einem Beförderungsteil zur Beförderung einer Platine von einem Eintrittsende einer Förderbahn bis zu einer vorgegebenen Stoppstelle; einem Platinendurchgangssensor, der gegen die Platine, die durch eine auf der Seite des Eintrittsendes von der Stoppstelle liegende festgesetzte Stelle der Förderbahn durchgeht, ein Erfassungslicht projiziert und aufgrund der Durchlassmenge oder Reflexionsmenge des Erfassungslichts die An- und Abwesenheit der Platine an der festgesetzten Stelle erfasst; einem Bestimmungsteil, das bei der Beförderung der Platine durch das Beförderungsteil eine kommende Förderstrecke zur Beförderung der Platine bis zur Stoppstelle zu einem Zeitpunkt bestimmt, wo ein Erfassungsergebnis des Platinendurchgangssensors von ,,Platine abwesend" zu ,,Platine anwesend" und darauf zu ,,Platine abwesend" gewechselt ist; einem Überwachungsteil, das bis zur Ankunft der Platine an der Stoppstelle überwacht, ob das Erfassungsergebnis wieder zu ,,Platine anwesend" gewechselt wird; und einem Wiederbestimmungsteil, das im Fall, dass das Erfassungsergebnis wieder zu ,,Platine anwesend" gewechselt ist, zu einem Zeitpunkt, wo das Erfassungsergebnis danach zu ,,Platine abwesend" gewechselt ist, die bereits bestimmte Förderstrecke löscht und die kommende Förderstrecke wiederbestimmt. This substrate transfer apparatus is provided with a transfer unit that transfers a substrate from an inlet end of a transfer path to a predetermined stopping position, a substrate passing sensor that projects a detection light toward the substrate passing through a prescribed position closer to the inlet end side of the transfer path than the stopping position and detects the presence of the substrate at the prescribed position on the basis of a passing amount or a reflected amount of the detection light, a setting unit that, when the transfer unit transfers the substrate, sets a future transfer distance for transferring the substrate to the stopping position at a time when the detection result of the substrate passing sensor goes from "no substrate", to "substrate detected", and then to "no substrate", a monitoring unit that monitors whether or not the detection result once again changes to "substrate detected" until the substrate reaches the stopping position, and a resetting unit that, when the detection result once again changes to "substrate detected", at the time when the detection result then changes to "no substrate", resets the pr