Opakes Quarzglas und Verfahren zu dessen Herstellung

Das Quarzglas gemäß dieser Anmeldung stellt ein opakes Quarzglas mit hoher Lichtabschirmeigenschaft, ausgezeichneter mechanischer Festigkeit und ausgezeichneter Reinigungsbeständigkeit gegenüber Flusssäure bereit.LösungDurch die Einstellung der maximalen Breite der in dem opaken Quarzglas vorhandenen amorphen Blasen auf durchschnittlich 3 bis 15 µm und der Dichte auf 2,15 g/cm3oder mehr werden die mechanische Festigkeit nach dem Brennen und die Reinigungsbeständigkeit durch Flusssäure verbessert. Das opake Quarzglas dieser Erfindung hat bei einer Dicke von 10 mm einen Weißegrad von 75 bis 90%, einen Reflexionswert von Licht mit einer Wellenlänge von 0,24 bis 2,6 µm bei einer Dicke von 4 mm von 60 bis 85% und die Biegefestigkeit nach dem Brennen beträgt 95 MPa. Darüber hinaus wird dem opaken Quarzglas ein Schäummittel beigemischt, durch Einbrennen werden kugelförmige Blasen in Oberflächennähe erzeugt und der Weißegrad, der Reflexionswert, die Biegefestigkeit und der Fluorwasserstoff des opaken Quarzes werden durch das Anpassen des Verhältnisses der kugelförmigen Blasen angepasst. Es kann ein opakes Quarzglas mit geeigneter Reinigungsbeständigkeit gegenüber der Säure erhalten werden. A quartz glass provides an opaque quartz glass having high light-shielding property, excellent mechanical strength and excellent cleaning resistance against hydrofluoric acid. By setting the maximum width of the amorphous bubbles existing in the opaque quartz glass to an average of 3 to 15 μm and the density to 2.15 g/cm3 or more, the mechanical strength after baking and the cleaning resistance by hydrofluoric acid are improved. The opaque quartz glass has a whiteness at a thickness of 10 mm of 75 to 90%, the reflectance of light with a wavelength of 0.24 to 2.6 μm at a thickness of 4 mm is 60 to 85%, and the bending strength after baking is 95 MPa. In addition, a foaming agent may be mixed in the opaque quartz glass. An opaque quartz glass having cleaning resistance against acid can be obtained.