GESTAPELTE DURCHKONTAKTIERUNGSNIETEN IN CHIP-HOTSPOTS

Es wird eine Struktur beschrieben, welche eine Mehrzahl von Dielektrikumszonen aufweist. Die Struktur kann eine Nietenzelle aufweisen. Die Nietenzelle kann eine Gruppe von gestapelten Durchkontaktierungen aufweisen. Die Nietenzelle kann sich durch einen Spannungs-Hotspot der Struktur erstrecken. Ein...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Wolpert, David, Chidambarrao, Dureseti, Gray, Michael Stewart, Sinha, Tuhin, Ogino, Atsushi, Guzowski, Matthew T, Ostrander, Steven Paul
Format: Patent
Sprache:ger
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