TRÄGERMESSVORRICHTUNG, TRÄGERMESSVERFAHREN UNDTRÄGERVERWALTUNGSVERFAHREN

Eine Trägermessvorrichtung (1) beinhaltet einen Drehtisch (23), einen Tischantriebsmotor (24), einen oberen Dickensensor (41), einen unteren Dickensensor (42) und eine Schiebereinheit (13). Der Drehtisch (23) beinhaltet eine Trägeraufnahme (23A) die konfiguriert ist, um einen Träger (21) horizontal unterzubringen, der mit einem Lochs (21A) gebildet ist, in der eine Halbleiterwafer gehalten wird, wobei das Loch exzentrisch in Bezug auf den Träger (21) ist. Der Tischantriebsmotor (24) dreht den Drehtisch (23) um seine Mittelachse als eine Drehachse. Der obere Dickensensor (41) und der untere Dickensensor (42) werden über bzw. unter dem Träger (21) positioniert und messen die Dicke des Trägers (21) in einer berührungslosen Weise. Die Schiebereinheit (13) verschiebt den Drehtisch (23) in einer horizontalen Richtung. Die Trägeraufnahme (23A) ist gebildet, um in der Lage zu sein, den Träger (21) in einer Weise unterzubringen, dass ein Mittelpunkt des Lochs (21A) mit einem Mittelpunkt des Drehtischs (23) übereinstimmt. A carrier measuring device includes a rotary table, a table drive motor, an upper thickness sensor, a lower thickness sensor and a slide unit. The rotary table includes a carrier receiver configured to horizontally house a carrier formed with a hole in which a semiconductor wafer is held, the hole being eccentric with respect to the carrier. The table drive motor rotates the rotary table around a center axis thereof as a rotation axis. The upper thickness sensor and the lower thickness sensor are positioned above and below the carrier, respectively, and measure a thickness of the carrier in a non-contact manner. The slide unit slides the rotary table in a horizontal direction. The carrier receiver is formed to be capable of housing the carrier in a manner that a center of the hole coincides with a center of the rotary table.