ÜBERWACHUNG GROSSER TEILCHEN MIT STEUERUNG DER LASERLEISTUNG ZURDEFEKTINSPEKTION

Ein Halbleiterwafer wird unter Verwendung eines Hauptlaserstrahls und eines Sekundärlaserstrahls inspiziert. Der Sekundärlaserstrahl ist dem Hauptlaserstrahl voraus und hat eine geringere Leistung als der Hauptlaserstrahl. Unter Verwendung des Sekundärlaserstrahls wird ein Teilchen auf dem Halbleite...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Cui, Yifeng, Paranjape, Mandar, Xu, Zhiwei, Yuditsky, Yury, Romanovsky, Anatoly
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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