TEMPERATURMESSVORRICHTUNG, TEMPERATURMESSVERFAHREN UND TEMPERATURDÄMPFUNGSMESSVERFAHREN

Es werden eine Temperaturmessvorrichtung, ein Temperaturmessverfahren und ein Temperaturdämpfungsmessverfahren bereitgestellt, die in der Lage sind, die Temperatur eines Objekts mit hoher Präzision, hoher Genauigkeit und schnellem Ansprechen zu messen, und die in der Lage sind, die Temperatur eines wärmeempfindlichen Dünnfilmelements zur Messung auf einer Temperatur zu halten, die niedriger ist als die Temperatur des Objekts. Eine Temperaturmessvorrichtung (10) umfasst: eine wärmeempfindliche Einheit (41), die die Temperatur erfasst; ein wärmeempfindliches Dünnfilmelement (1) zur Messung, das in der Lage ist, die Temperatur zu messen, indem die wärmeempfindliche Einheit (41) in Kontakt mit einem Subjekt gebracht wird; ein wärmeempfindliches Dünnfilmelement (2) zum schützenden Heizen, das angeordnet ist, um einen Wärmeaustausch mit dem wärmeempfindlichen Dünnfilmelement (1) zur Messung über eine Isolierschicht (S1) ermöglicht, und das gesteuert ist, dass seine Temperatur gleich der Temperatur des wärmeempfindlichen Dünnfilmelements (1) zur Messung ist; ein Temperatursteuerelement (3), das in der Lage ist, das wärmeempfindliche Dünnfilmelement (1) zur Messung in einen Temperaturzustand zu versetzen, in dem seine Temperatur um einen bestimmten Grad niedriger ist als die Temperatur des Subjekts; und eine Steuerungsverarbeitungseinheit (5), die das wärmeempfindliche Dünnfilmelement (1) zur Messung, das wärmeempfindliche Dünnfilmelement (2) zum schützenden Heizen und das Temperatursteuerelement (3) steuert. A temperature measurement device (10) comprises: a thermosensitive unit (41) that senses temperature; a thin film thermosensitive element (1) for measurement capable of measuring the temperature by bringing the thermosensitive unit (41) into contact with a subject; a thin film thermosensitive element (2) for protective heating disposed to enable heat exchange with the thin film thermosensitive element (1) via an insulating layer (S1), and controlled so that the temperature thereof is equal to the temperature of the thin film thermosensitive element (1); a temperature control element (3) capable of causing the thin film thermosensitive element (1) to be in a temperature state in which the temperature thereof is a certain degree lower than the temperature of the subject; and a control processing unit (5) controlling the thin film thermosensitive element (1), the thin film thermosensitive element (2), and the temperature control element (3).