Keramiksubstrat, AlN-Einkristall, AlN-Whisker und AlN-Whisker-Verbundwerkstoff

Ein Keramiksubstrat wird bereitgestellt, das sowohl eine gleiche oder mehre Wärmeleitfähigkeit als herkömmliche Keramiksubstrate, die körnige Aluminiumnitrid-Polykristalle im Grundkörper enthalten, als auch eine hervorragendere Bruchzähigkeit als herkömmliche Keramiksubstrate, die körnige Siliziumni...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: Nishitani, Kenji, Watanabe, Shota, Nagaya, Masashi, Matsumoto, Masaki, Madea, Takahiro
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Ein Keramiksubstrat wird bereitgestellt, das sowohl eine gleiche oder mehre Wärmeleitfähigkeit als herkömmliche Keramiksubstrate, die körnige Aluminiumnitrid-Polykristalle im Grundkörper enthalten, als auch eine hervorragendere Bruchzähigkeit als herkömmliche Keramiksubstrate, die körnige Siliziumnitrid-Polykristalle im Grundkörper enthalten, realisieren kann, und Eigenschaften aufweist, die bei bereits bestehenden Keramiksubstraten nicht vorhanden sind.Das Keramiksubstrat gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass das Keramiksubstrat faserförmige AlN-Einkristalle im Grundkörper enthält. Provided is a ceramic substrate having novel characteristics, capable of achieving thermal conductivity equal to or higher than that of a conventional ceramic substrate containing a granular aluminum nitride polycrystal in a base body thereof, and achieving fracture toughness superior to that of a conventional ceramic substrate containing a granular silicon nitride polycrystal in a base body thereof.A ceramic substrate according to the present embodiment contains a fibrous AlN single crystal.