Messvorrichtung für Innenflächenformen und Justierverfahren und Kalibrierverfahren für Messvorrichtung für Innenflächenformen

Es wird bereitgestellt eine Messvorrichtung für Innenflächenformen, die in der Lage ist, eine Position einer Sonde zu justieren, und ein Justierverfahren für die Messvorrichtung für Innenflächenformen. Die Messvorrichtung für Innenflächenformen, die eine Innenflächenform einer in einem Werkstück W ausgebildeten kleinen Bohrung H misst, weist auf: einen Drehkörper 16 zum Drehen des Werkstücks W um eine Drehachse, und Linear-und-Neige-Bewegungshalterung 18; eine längliche Sonde 30, die in die kleine Bohrung H des Werkstücks einführbar ist; einen Sondenlinear-und-Neige-Bewegungsmechanismus 28, der ausgebildet ist, eine Lage der Sonde zu justieren; eine Kamera 32, die ausgebildet ist, sich zusammen mit dem Drehkörper 16 zu drehen, um die Sonde 30 aus mindestens drei Umfangspositionen auf einer Drehbahn, deren Zentrum die Drehachse C ist, abzubilden; und eine Steuerung 50 zur Justierung der Lage der Sonde unter Anwendung des Sondenlinear-und-Neige-Bewegungsmechanismus 28 auf der Grundlage eines Bilds, das von der Kamera 32 an jeder der Umfangspositionen aufgenommen wird. The inner surface shape measurement device, which measures an inner surface shape of a small hole formed in a workpiece, includes: a rotating body for rotating the workpiece around a rotation axis, and a linear-and-tilting-motion stage; an elongated probe capable of being inserted into the small hole of the workpiece; a probe linear-and-tilting-motion mechanism capable of adjusting posture of the probe; a camera, configured to be rotatable integrally with the rotating body, for imaging the probe from at least three circumferential positions on a rotation trajectory centered on a rotation axis; and a controller for adjusting the posture of the probe using the probe linear-and-tilting-motion mechanism based on an image taken by the camera at each of the circumferential positions.