KONTAKTKRAFTSENSOR UND VORRICHTUNG, BEREITGESTELLT MIT KONTAKTKRAFTSENSOR

Es werden bereitgestellt: ein Kontaktkraftsensor, der eine hohe Genauigkeit und Empfindlichkeit aufweist und in der Lage ist, Festigkeit zu gewährleisten; und eine Vorrichtung, die mit dem Kontaktkraftsensor bereitgestellt ist. Die vorliegende Erfindung enthält: einen Sensorkörper (2), der durch Ver...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: Tabata, Yutaro, Orito, Manabu, Matsudate, Tadashi
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Es werden bereitgestellt: ein Kontaktkraftsensor, der eine hohe Genauigkeit und Empfindlichkeit aufweist und in der Lage ist, Festigkeit zu gewährleisten; und eine Vorrichtung, die mit dem Kontaktkraftsensor bereitgestellt ist. Die vorliegende Erfindung enthält: einen Sensorkörper (2), der durch Verarbeiten eines Halbleitermaterials hergestellt ist, wobei der Sensorkörper (2) bereitgestellt ist mit: einem ringförmigen Abschnitt (21); einem zentralen Abschnitt (22), der im Wesentlichen in der Mitte des ringförmigen Abschnitts (21) ausgebildet ist; einem Speichenabschnitt (23), der mit dem ringförmigen Abschnitt (21) von dem zentralen Abschnitt (22) zu der Außenseite hin verbunden ist; und einem Belastung-Elektrizitäts-Umwandlungselement (5), das an einer Position angeordnet ist, an der die Vorderseite und die Rückseite des Speichenabschnitts (23) einander gegenüberliegen, und das die Verschiebung des Speichenabschnitts (23) in ein elektrisches Signal umwandelt. Provided are: a contact force sensor which has high accuracy and sensitivity and is capable of ensuring strength; and a device provided with the contact force sensor. The present invention comprises: a sensor body (2) manufactured by processing a semiconductor material, wherein the sensor body (2) is provided with: a ring-shaped portion (21); a central portion (22) formed substantially in the center of the ring-shaped portion (21); a spoke portion (23) connected to the ring-shaped portion (21) from the central portion (22) toward the outside; and stress-electricity conversion elements (5) which are disposed at positions facing each other on the front side and the back side of the spoke portion (23), and convert the displacement of the spoke portion (23) into an electric signal.