Messvorrichtung

Es wird eine Messvorrichtung bereitgestellt, die eine verringerte Differenz zwischen einem Lastmoment bei der Aufwärtsbewegung und dem bei der Abwärtsbewegung aufweist, wobei ein Mechanismus verwendet wird, der keine komplizierte Struktur erfordert, einen starren Körper für nur das Gewicht des Antriebskörpers aufweist, mit dem Trägheitsmoment durch nur das Gewicht des Antriebskörpers angetrieben wird, keine Beschleunigungsgrenze hat und keine Störungen, wie z.B. Paare, aufweist. Das obige Problem wird durch eine Messvorrichtung gelöst, die Folgendes umfasst: einen Detektor, der eine Oberflächenposition eines zu messenden Objekts erfasst; einen Antriebskörper, der den Detektor stützt; einen Bewegungs- und Stützmechanismus, der eine Drehwelle enthält, wobei der Bewegungs- und Stützmechanismus den Antriebskörper veranlasst, sich durch Drehung der Drehwelle in einer ersten Richtung abzusenken, und den Antriebskörper veranlasst, sich durch Drehung der Drehwelle in einer zweiten, der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung zu heben; einen Motor, der die Drehwelle in der ersten Richtung oder in der zweiten Richtung dreht, und einen Lader, der ein Lastmoment auf die Drehwelle ausübt, wobei der Lader ein größeres Lastmoment auf die Drehung der Drehwelle in der ersten Richtung ausübt als auf die Drehung der Drehwelle in der zweiten Richtung. A measuring apparatus comprises a detector that detects a surface position of a measuring object. A driver 20 includes a ball nut and supports the detector. A movable support mechanism comprises a rotating shaft 12A which drives, for example, a ball screw 18B. The shaft 12A and ball screw 18A are rotated by a motor 12 so that the driver is moved in a first and second direction. A load device 16 comprises a mechanism for causing energy loss, e.g., a magnetised disc, hysteresis plate, friction pads, and a one-way clutch (40, fig 6). The one-way clutch (40) is configured to transmit rotation of the rotating shaft in the first direction to the mechanism for causing energy loss and configured not to transmit rotation of the rotating shaft in the second direction to the mechanism for causing energy loss.