KALIBRIERUNGSSPANNFUTTER FÜR OPTISCHE SONDENSYSTEME, OPTISCHE SONDENSYSTEME MIT DEN KALIBRIERUNGSSPANNFUTTERN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER OPTISCHEN SONDENSYSTEME

Kalibrierungsspannfutter für optische Sondensysteme, optische Sondensysteme mit diesen Kalibrierungsspannfuttern und Verfahren zur Verwendung der optischen Sondensysteme. Das Kalibrierungsspannfutter umfasst einen Kalibrierungsspannfutterkörper, der eine Kalibrierungsspannfutterstützfläche definiert. Das Kalibrierungsspannfutter umfasst zudem mindestens eine optische Kalibrierungsstruktur, die von dem Kalibrierungsspannfutterkörper gestützt ist. Die mindestens eine optische Kalibrierungstruktur umfasst eine horizontale Beobachtungsstruktur. Die horizontale Beobachtungsstruktur ist eingerichtet, um die Beobachtung eines horizontal beobachteten Bereichs in einer horizontalen Beobachtungsrichtung zu ermöglichen, die zumindest im Wesentlichen parallel zur Kalibrierungsspannfutterstützfläche ist. Die horizontale Beobachtungsstruktur ist zudem eingerichtet, um die Beobachtung des horizontal beobachteten Bereichs durch eine Abbildungsvorrichtung des optischen Sondensystems zu ermöglichen, die vertikal über der Kalibrierungsspannfutter-Stützfläche positioniert ist. Calibration chucks for optical probe systems, optical probe systems including the calibration chucks, and methods of utilizing the optical probe systems. The calibration chucks include a calibration chuck body that defines a calibration chuck support surface. The calibration chucks also include at least one optical calibration structure that is supported by the calibration chuck body. The at least one optical calibration structure includes a horizontal viewing structure. The horizontal viewing structure is configured to facilitate viewing of a horizontally viewed region from a horizontal viewing direction that is at least substantially parallel to the calibration chuck support surface. The horizontal viewing structure also is configured to facilitate viewing of the horizontally viewed region via an imaging device of the optical probe system that is positioned vertically above the calibration chuck support surface.