GASLASER-VERSTÄRKER, GASLASERGERÄT, EUV-LICHTERZEUGUNGSGERÄT UND EUV-BELICHTUNGSGERÄT

Ein Gaslaser-Verstärker (10A) beinhaltet ein Gehäuse (11), Entladungselektrodenpaare (20A und 20B) und einen optischen Resonator (40). Das Gehäuse (11) beinhaltet ein Eingangsfenster (12), das den Eintritt eines ersten Laserstrahls von außen ermöglicht, und ein Ausgangsfenster (13), das den Austritt...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Yamamoto, Tatsuya, Kawashima, Takuya, Nishimae, Junichi, Tadokoro, Yuzuru, Naruse, Masashi
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS DEVICES USING STIMULATED EMISSION ELECTRICITY
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