GASLASER-VERSTÄRKER, GASLASERGERÄT, EUV-LICHTERZEUGUNGSGERÄT UND EUV-BELICHTUNGSGERÄT

Ein Gaslaser-Verstärker (10A) beinhaltet ein Gehäuse (11), Entladungselektrodenpaare (20A und 20B) und einen optischen Resonator (40). Das Gehäuse (11) beinhaltet ein Eingangsfenster (12), das den Eintritt eines ersten Laserstrahls von außen ermöglicht, und ein Ausgangsfenster (13), das den Austritt des verstärkten ersten Laserstrahls ermöglicht. Jedes der Entladungselektrodenpaare (20A und 20B) regt ein Lasergas an, das zwischen Entladungselektroden (21A und 22A, 21B und 22B) zugeführt wird, die sich im Gehäuse (11) gegenüberliegen. Der optische Resonator (40) bringt einen zweiten Laserstrahl dazu, mit einer Verstärkung des angeregten Lasergases in einem nicht-auftreffenden Zustand zu schwingen, in dem der erste Laserstrahl von außerhalb des Gehäuses (11) nicht durch das Eingangsfenster (12) in das Gehäuse (11) eintritt. In einem einfallenden Zustand, in dem der erste Laserstrahl durch das Eintrittsfenster (12) in das Gehäuse (11) eintritt, unterbricht der optische Resonator (40) die Schwingung des zweiten Laserstrahls. A gas laser amplifier includes a housing, discharge electrode pairs, and an optical resonator. The housing includes an entrance window that allows entry of a first laser beam from outside and an exit window that allows exit of the first laser beam amplified. Each of the discharge electrode pairs excites a laser gas supplied between discharge electrodes facing each other in the housing. The optical resonator causes a second laser beam to oscillate with a gain of the excited laser gas in a non-incident state where the first laser beam from outside the housing does not enter the housing through the entrance window. In an incident state where the first laser beam enters the housing through the entrance window, the optical resonator suspends the oscillation of the second laser beam.