ATOMSTRAHLGENERATOR, BONDING-EINRICHTUNG, OBERFLÄCHENMODIFIKATIONSVERFAHREN UND BONDING-VERFAHREN

Ein Atomstrahlgenerator 10 enthält eine Kathode 20, die als ein Gehäuse gebildet ist, das eine Emissionsoberfläche 22 aufweist, die mit einer Bestrahlungsöffnung 23 ausgestattet ist, durch die ein Atomstrahl emittiert wird, eine Anode 40, die innerhalb der Kathode 20 angeordnet ist, um ein Plasma zw...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Takahashi, Tomonori, Tsuji, Hiroyuki, Akao, Takayoshi, Nagae, Tomoki, Sakurai, Junpei, Hirai, Yuuki, Hata, Seiichi
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS SEMICONDUCTOR DEVICES
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