ATOMSTRAHLGENERATOR, BONDING-EINRICHTUNG, OBERFLÄCHENMODIFIKATIONSVERFAHREN UND BONDING-VERFAHREN

Ein Atomstrahlgenerator 10 enthält eine Kathode 20, die als ein Gehäuse gebildet ist, das eine Emissionsoberfläche 22 aufweist, die mit einer Bestrahlungsöffnung 23 ausgestattet ist, durch die ein Atomstrahl emittiert wird, eine Anode 40, die innerhalb der Kathode 20 angeordnet ist, um ein Plasma zwischen der Kathode 20 und der Anode 40 zu erzeugen, und eine Magnetfelderzeugungseinheit 61, 62, die eine erste Magnetfelderzeugungseinheit 61, die ein erstes Magnetfeld B1 erzeugt, und eine zweite Magnetfelderzeugungseinheit 62, die ein zweites Magnetfeld B2 erzeugt, enthält und positive Ionen, die in der Kathode 20 produziert werden, zu der Emissionsoberfläche 22 lenkt durch Erzeugen in der Kathode 20 des ersten Magnetfelds und des zweiten Magnetfelds, die beide parallel zu der Emissionsoberfläche 22 sind, so dass eine Magnetfeldrichtung in dem ersten Magnetfeld nach links ist und in dem zweiten Magnetfeld nach rechts ist, gesehen von der Seite, die die Emissionsoberfläche 22 enthält, unter der Bedingung, dass das erste Magnetfeld oberhalb des zweiten Magnetfelds positioniert ist. An atomic beam generator includes a cathode constituted as a housing having an emission surface provided with an irradiation port through which an atomic beam is emissive; an anode disposed inside the cathode to generate plasma between the cathode and the anode; and a magnetic field generating unit including a first magnetic field generating unit that generates a first magnetic field and a second magnetic field generating unit that generates a second magnetic field, and guiding positive ions produced in the cathode to the emission surface by generating, in the cathode, the first magnetic field and the second magnetic field both parallel to the emission surface such that a magnetic field direction is leftward in the first magnetic field and is rightward in the second magnetic field when viewed from an emission surface side on condition of the first magnetic field being positioned above the second magnetic field.